
ESD(静電排出)材料は、静的な電力を減らして、静的敏感な機器、可燃性ガス、または液体を保護できます。静電排出材料は通常、抗静止、導電性、散逸の特性に応じて、次のカテゴリに分けられます。
ESD(静電排出)材料
| 材料 | 表面抵抗 (o/sq) | 特性 |
| 導電性 | 103 10に5 | 導電性材料は抵抗性が低いため、電子は表面またはこれらの材料の内部を簡単に流れることがあります。電荷は、材料と接触している地面または別の導電性物体に流れます。 |
| 静的散逸 | 105 10に9 | 導電性材料と比較して、静的な散逸材料は、より制御された遅い方法で、地面または他の導体への電荷の流れを行うことができます。 |
| 反スタティック | 109 10に12 | 抗静止材料は、摩擦と発電を阻害する可能性があります。 |
帯状形成プラスチックシートの半導体アプリケーション
チップ製造プロセス全体では、チップ製品(特に統合が高いか、サイズが小さい)とウェーハは静電気に敏感であり、関連する機器またはツールからの静電気が簡単に損傷します。
ほこりと汚染物質の静電吸着は収率を減少させます。半導体リソグラフィは、特にほこりに敏感です。曝露プロセス中、ウェーハ上でもシールド上でも、あらゆるレベルのほこりがダイパターンの故障を引き起こす可能性があります。外部生産プロセスでは、ウェーハの表面はほこりで汚染されており、製品の性能に影響します。
帯状形成プラスチックの適用
帯電防止プラスチックシートは、ウェーハカセット/キャリア、レチクルボックス、ウェーハコーム、備品、トレイ、真空吸引ペンなどの生産に広く使用されています。









