วัสดุ ESD (การปล่อยประจุไฟฟ้าสถิต) สามารถลดไฟฟ้าสถิตได้เพื่อปกป้องอุปกรณ์ที่ไวต่อไฟฟ้าสถิต ก๊าซหรือของเหลวที่ติดไฟได้ วัสดุปล่อยประจุไฟฟ้าสถิตมักจะแบ่งออกเป็นประเภทต่อไปนี้ตามคุณลักษณะ:
วัสดุ ESD (ไฟฟ้าสถิต)
| วัสดุ | ความต้านทานพื้นผิว (o/sq) | ลักษณะ |
| เป็นสื่อกระแสไฟฟ้า | 103 ถึง 105 | วัสดุนำไฟฟ้ามีความต้านทานต่ำดังนั้นอิเล็กตรอนจึงสามารถไหลผ่านพื้นผิวหรือภายในวัสดุเหล่านี้ได้อย่างง่ายดาย ประจุจะไหลไปยังพื้นดินหรือวัตถุนำไฟฟ้าอื่นที่สัมผัสกับวัสดุ |
| การกระจายแบบคงที่ | 105 ถึง 109 | เมื่อเปรียบเทียบกับวัสดุนำไฟฟ้าวัสดุที่แยกจากกันสามารถทำให้ประจุไหลไปยังพื้นดินหรือตัวนำอื่น ๆ ในลักษณะที่ควบคุมและช้ากว่า |
| ต่อต้าน | 109 ถึง 1012 | วัสดุป้องกันสแตติกสามารถยับยั้งการเสียดสีและการผลิตไฟฟ้า |
แอปพลิเคชันเซมิคอนดักเตอร์ของแผ่นพลาสติกป้องกัน
ในระหว่างกระบวนการผลิตชิปทั้งหมดผลิตภัณฑ์ชิป (โดยเฉพาะอย่างยิ่งผู้ที่มีการรวมเข้าด้วยกันหรือขนาดเล็ก) และเวเฟอร์มีความไวต่อกระแสไฟฟ้าคงที่และได้รับความเสียหายได้ง่ายจากไฟฟ้าคงที่จากอุปกรณ์หรือเครื่องมือที่เกี่ยวข้อง
การดูดซับไฟฟ้าสถิตของฝุ่นและสารปนเปื้อนช่วยลดผลผลิต การพิมพ์หินเซมิคอนดักเตอร์มีความไวต่อฝุ่นเป็นพิเศษ ในระหว่างกระบวนการรับแสงระดับของฝุ่นไม่ว่าจะอยู่บนเวเฟอร์หรือบนโล่อาจทำให้เกิดรูปแบบความล้มเหลว ในกระบวนการผลิตภายนอกพื้นผิวของเวเฟอร์จะปนเปื้อนด้วยฝุ่นซึ่งจะส่งผลต่อประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์
การประยุกต์ใช้พลาสติกป้องกัน
แผ่นพลาสติกต้านไวรัสมีการใช้กันอย่างแพร่หลายในการผลิตเทปเวเฟอร์/ผู้ให้บริการ, กล่องเล็ง, หวีเวเฟอร์, การติดตั้ง, ถาด, ปากกาดูดสูญญากาศ ฯลฯ
