Los materiales de ESD (descarga electrostática) pueden reducir la electricidad estática para proteger el equipo sensible a la estática, los gases o líquidos inflamables. Los materiales de descarga electrostática generalmente se dividen en las siguientes categorías de acuerdo con sus características: antiestático, conductivo y disipativo.
Materiales de ESD (descarga electrostática)
| Material | Resistencia a la superficie (O/SQ) | Característica |
| Conductivo | 103 a 105 | Los materiales conductores tienen baja resistencia, por lo que los electrones pueden fluir fácilmente a través de la superficie o dentro de estos materiales. La carga fluirá al suelo u otro objeto conductor en contacto con el material. |
| Disipación estática | 105 a 109 | En comparación con los materiales conductores, los materiales disipativos estáticos pueden hacer que el flujo de carga al suelo u otros conductores de una manera más controlada y lenta. |
| Antiestático | 109 a 1012 | Los materiales antiestáticos pueden inhibir la generación de fricción y electricidad. |
Aplicación de semiconductores de la lámina de plástico antiestático
Durante todo el proceso de fabricación de chips, los productos de chips (especialmente aquellos con alta integración o tamaño pequeño) y obleas son sensibles a la electricidad estática y se dañan fácilmente por la electricidad estática de equipos o herramientas relacionadas.
La adsorción electrostática de polvo y contaminantes reduce el rendimiento. La litografía semiconductora es particularmente sensible al polvo. Durante el proceso de exposición, cualquier nivel de polvo, ya sea en la oblea o en el escudo, puede causar falla del patrón de matriz. En el proceso de producción externa, la superficie de la oblea está contaminada con polvo, lo que afectará el rendimiento del producto.
Aplicación de plásticos antiestáticos
Las láminas de plástico antiestáticas se usan ampliamente en la producción de casetes/portadores de obleas, cajas de retícula, peines de obleas, accesorios, bandejas, bolígrafos de succión al vacío, etc.
