
ESD(静电放电)材料可以减少静电,以保护静电敏感设备、易燃气体或液体。静电放电材料通常根据其特性分为以下几类:抗静电、导电和耗散。
ESD(静电排放)材料
| 材料 | 表面电阻 (o/sq) | 特征 |
| 导电 | 103 到105 | 导电材料具有低电阻,因此电子很容易流过这些材料的表面或内部。电荷将流向地面或与材料接触的其他导电物体。 |
| 静电耗散 | 105 到109 | 与导电材料相比,静电耗散材料可以更可控、更缓慢的方式使电荷流向地面或其他导体。 |
| 防静电 | 109 到1012 | 防静电材料可以抑制摩擦和发电。 |
半导体应用抗固定塑料板
在整个芯片制造过程中,芯片产品(尤其是集成量高或尺寸较小的产品)和晶圆对静电敏感,并且很容易受到相关设备或工具的静电损坏。
灰尘和污染物的静电吸附可降低产量。半导体光刻对灰尘特别敏感。在曝光过程中,任何水平的灰尘,无论是在晶圆上还是盾牌上,都会导致模式故障。在外部生产过程中,晶圆的表面被灰尘污染,这将影响产品的性能。
抗抗塑料的应用
抗固定塑料板被广泛用于生产晶圆盒/携带者,标线盒,晶圆梳子,固定装置,托盘,真空吸力笔等。









